2달 만에 '일본' 불화수소 '국산'화 시킨 삼성 이재용 부회장

삼성전자가 최근 반도체 공정에 사용되던 일본의 고순도 불화수소(에칭가스) 일부를 국산품 등으로 대체한 것으로 확인됐다.

지난 7월4일 일본이 고순도 불화수소와 포토레지스트 등 반도체 공정에 쓰이는 주요 소재에 대해 수출 규제를 강화했다.

이에 삼성전자는 최근 반도체 일부 공정에 일본산 이외의 제품을 투입했다. 삼성전자는 민감도가 낮은 공정부터 점진적으로 확대해나갈 계획이다.

삼성전자는 수출규제 직후부터 일본 불화수소를 대체할 수 있도록 국내외 제품의 테스트를 진행해왔으나, 업계는 제품을 양산에 투입하기까지 3∼6개월가량의 시간이 소요될 것으로 전망했다.

불화수소는 반도체 제조 공정에서 회로를 새길 때 사용하는 필수 소재로, LG디스플레이는 이미 국산 불화수소를 공정에 투입했으며 삼성디스플레이도 조만간 테스트를 완료할 것으로 보인다.

국내외 불화수소를 테스트 중인 SK하이닉스는 아직 대체품을 양산에 투입하지는 않고 있는 것으로 알려졌다.